能直接把光刻机、刻蚀机这些核心设备吊进去安装。”
系统给了一整套完整的生產线：
193nm arf 步进扫描光刻机、65—90nm 兼容干法 / 湿法刻蚀机、pecvd 等离子体增强沉积设备、lpcvd 低压沉积、pvd 物理气相沉积、高能离子注入机、化学机械拋光 cmp、匀胶显影机、超声波清洗机、快速退火炉、晶圆探针台、终测机……
苏诚就说了一些设备名字。
郑经理听得眼皮直跳。
干基建这么多年，他还是头一次碰到，能把晶片製造设备背得比设备厂家还熟的甲方。
这些设备每一台都是高精尖，对地面承重、微震控制、温湿度稳定性的要求苛刻到极致，工期压缩一半，简直是玩命。
“苏总，我明白您急著流片。”
郑经理抹了把额角的汗，语气带著为难：
“可无尘车间的墙板、吊顶、ffu 风机过滤单元，都要从广州、东莞调货。
环氧自流平地坪要刷三遍，养护时间不能省。
双迴路供电要供电局批流程，我就算连夜跑审批，也得有个周期啊！”
苏诚直起身，望向远处即將封顶的主厂房，眼神坚定：
“郑经理，我不跟你讲困难，我给你解决方案。
工人三班倒，人歇工不歇，加班费按三倍算。 ↑↑
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