第327章

提前了他们实验应该怎么继续下去之后，宋问声就往老潘实验室那边去了。

那边的实验室有很多真空操作设备，精度很高的光学镜片，表面所有的坑洼都会控制在一个非常小的范围之内, 甚至不允许有任何一粒灰尘的存在。

即便能够打磨出这样的镜片, 还需要强大的工业测量技术作为支撑。

这些都是我们国家现在所不具备的。

要实现上面的要求, 工程量是很大的，难度甚至不亚于两弹工程和登月工程。

他一过来, 老潘就有些兴奋的和大家介绍，“这是宋问声宋院士，我邀请他过来咱们这里参观指导，你们做自己的。”

大家好奇的眼神在宋问声身上转了一圈, 又回去做自己的事情了。

光刻机绝对不是一个小东西，dua光刻机的透镜系统镜片就有四十来块, 叠加组合在一起，都有人这么高，更不用说精度更加大的深紫外光刻机。

老潘带他把光学镜头小组都参观过了一遍，还把隔壁的给介绍了一下。

这一个大组是照明系统大组，里面分光学镜头, 工作台系统等等。

光是光学镜头里又分大大小小的镜片，比如物镜等等。

现在的镜片材料大部分都是用石英材料, 并且光源和镜片之间的联系紧密，光源长时间照射会影响光学材料的性能, 光学材料的性能又会制约工作波长的选择。

所以二者之间能选择的余地很小。

现在也很难提出什么新的光学材料, 这么紧的工期, 基本上没有什么时间要验证。

所以只能在原来的基础上加以改进。

宋问声想了很久, 也想不到自己在光学镜片上能够帮助什么, 只是看了一些数据，提出了一些建议，建议他们和光刻胶小组合作一下，会有奇效。

其实光源的工作波长，不只是受到光学材料的制约，还有光刻胶，宋问声研发的光刻胶路子很野，和其他的不一样。

可以在193nm的深紫外光下使用，也可以在13.5nm的极紫外光下使用。

而且这款光刻胶还有很多功能急待开发，它的自由性很大，就和碳的四条键一样，可以有无穷的变换。

宋问声在光学镜片这里用不上劲，但是他观察之后发现，他在光源上可以有所改进。

只要光源和光刻胶选择的余地多了，那么光学材料选择的余地是不是多了？

整个下午，宋问声拿着一大沓厚厚的草稿和老潘比划。

老潘听着确实像那么一回事。

他们这些配合研发的，多多少少对需要配合的地方有些了解，看宋问声写出的公式和理论，老潘忽然间觉得，应该就是这样的！

看着宋问声认真的模样，老潘还觉得有些对不起这小老弟，之前还想骗人家过来指点指点，现在看人家是真认真。